TG553日本大阪真空OSAKA油潤滑型渦輪分子泵北崎熱賣

更新時間：2025-11-10

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油潤滑型TG系列

使用油潤滑滾珠軸承。化學用途型號有 200 L/s 至 5500 L/s 的每個級別，用于排放腐蝕性氣體的應用。

油潤滑球軸承型渦輪分子泵的截面

TG553日本大阪真空OSAKA油潤滑型渦輪分子泵北崎熱賣

產品陣容

TG553型

TG553日本大阪真空OSAKA油潤滑型渦輪分子泵北崎熱賣

■腐蝕性氣體的耐腐蝕型。

■經久耐用的結構，適合涌入空氣。

■堅固，耐外部沖擊。

■串行通信
※RS232C串行接口

■符合安全標準
NRTL/SEMI-S2/CE

應用

■半導體生產

■電子槍排氣、電離源排氣

■FPD制造

■表面處理、表面改性

■各種電子元件的制造

■燈具生產、光學元件生產

■加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■熱處理

■研究與開發
*TG-F、TG-M、TGkine系列可用于清潔工藝。

*1 ：使用500L/min的前級真空泵時。

[使用環境溫度]

確保您達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。