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          我的位置:首頁  >  技術文章  >  TG2400M型日本大坂真空OSAKA VACUUM磁懸浮型渦輪分子泵北崎熱賣

          TG2400M型日本大坂真空OSAKA VACUUM磁懸浮型渦輪分子泵北崎熱賣

          更新時間:2025-11-07      瀏覽次數:107

          磁懸浮型TG-M系列

          使用磁懸浮軸承可實現無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護周期。產品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。

          磁懸浮式渦輪分子泵的截面

          ターボ分子ポンプ斷面図(磁気軸受タイプ)

          TG2400M

          ■任何方向

          ■緊湊的尺寸

          ■節能

          ■快速啟動和停止

          ■維修電話

          ■無振動

          ■型號無聯軸器

          ■自動校準

          ■高吞吐量

          ■轉速控制

          ■串行通信

          ■NRTL SEMI-S2 CE安全標準認證

          應用

          ■ 半導體生產

          ■ 電子槍排氣、電離源排氣

          ■ FPD制造

          ■ 表面處理、表面改性

          ■ 各種電子元件的制造

          ■ 分析、檢測設備

          ■ 燈具生產、光學元件生產

          ■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
          ■ 熱處理

          ■ 研究與開發


          Inlet flange
          VG250
          ISO-B250
          Volume flow rate
          N2 (L/s)
          2400
          N(with protective
          screen) (L/s)
          2300
          H2 (L/s)
          1100
          Max. compression ratio
          N2
          1×108
          H2
          1.5×103
          Base pressure
          VG?ISO-B (Pa)
          <1×10-6
          VG?ISO-B(Torr)
          <7.5×10-9
          Max. throughput※1
          N2 (sccm)
          3000
          Startup time
          (min)
          4~5
          Shutdown time
          (min)
          4~5
          Max. backing pressure
          (Pa / Torr)
          200 / 1.5 
          Recommended backing
          vacuum pump
          (L/min)
          ≧500
          Position
          Any orientation
          Weight (kg)  VG?ISO-B
          34 / 42
          Controller
          TC010MA
          Special specifications
          *Contact our sales representative for more information.
          -Chemical-use-Thermal insulation TG-MI

          *1 : 使用1000L/min的前級真空泵時。

          [使用環境溫度]

          確保您達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C,水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C,冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

          [對應氣體]

          某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
          請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。



          電話:TEL

          86-010-67868591

          地址:ADDRESS

          朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B

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