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更新時間：2025-05-12 
瀏覽次數：513簡單的齒輪齒條驅動提供了*的可靠性。 在真空閥中，孔的電導性能*。
01. 由于閥門開度可在 0 度 ~ 45 度和 90 度（全開）兩個位置作， 單個閥可用于慢速排氣和高速排氣。
02. 除了通常的全閉（Fully Closed）和全開（Fully open）氣缸外， 兩級氣缸，閥開度可在 0 度 ~ 45 度范圍內任意設定 結構。
03.氣缸雖然小，但打開時推力加倍（運行可靠），行程結束時具有氣墊效果（減震）。
04. 關閉時，閥體密封。
05. 對安裝姿勢或安裝方向沒有限制。
06. 表面空間薄，電導性能優異。
07. 在無塵室中組裝和檢查。
| 法蘭格式 | JIS、ISO、KF（NW）、CF |
|---|---|
| 口徑 | 25A ~ 350A |
| 泄漏量 | 1×10-9 帕米3/s 或更低 |
| 使用區域 | 105~10-5 帕 |
| 氣體接觸材料 | SUS304型 |
| 盤式密封 | 氟橡膠 O 型圈 |
| 軸封 | 氟橡膠 O 型圈 |
| 工作氣壓 | 0.4~0.6 MPaG |
| 開/關指示 | 帶微動開關（用于打開/關閉每個位置的檢測） |
* 也可制造特殊規格。
* 此規格如有更改，恕不另行通知。
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